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多晶硅生产工艺过程气体分析仪应用与选型
2025-02-13
多晶硅作为光伏及半导体产业链的上游近年发展潜力巨大，多晶硅的生产包括两大主流工艺，改良西门子法和硅烷流化床法，目前全球主流的多晶硅生产方法是改良西门子法，国内外95%以上的多晶硅是采用改良西门子法生产的，是目前应用最为广泛的生产技术。西门子法制备多晶硅过程，首先将氯气与氢气结合生成氯化氢，然后氯化氢气体和工业硅粉再合成三氯氢硅，合成工艺的产生的合成气送至尾气回收工序进行分离，分离出的氢气(回收氢气)经纯化后送至还原工序或氢化工序循环使用，分离出的氯化氢(收氯化氢气体)返回三氯...
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氧分析仪
